EMP Hybrid molecular pump Turbo molecular pump

STOK YOK

EMP Serisi Moleküler Vakum Pompası

Giriş (Introduction)

EMP serisi moleküler vakum pompaları, soğutma tuzağı (cold trap) veya yağ saptırıcı (oil baffle) kullanmadan temiz ve ultra yüksek vakum elde edebilen gelişmiş pompalardır.

EVP, farklı yapısal tasarımlara sahip üç tip moleküler vakum pompası sunmaktadır:

Hibrit Moleküler Pompa

(Hybrid Molecular Pump)

Geniş uygulama aralığı için hibrit kademeli yapı; yüksek hız ve düşük nihai basınç kombinasyonu.

Turbo Moleküler Pompa

(Turbo Molecular Pump)

Yüksek pompalama hızı ve üstün sıkıştırma oranı ile UHV uygulamalarında standart çözüm.

Gres Yağlamalı Hibrit Moleküler Pompa

(Grease-Lubricated Hybrid Molecular Pump)

Gres yağlamaya uygun yatak mimarisi; bakım kolaylığı ve güvenilir uzun dönem çalışma.

Avantajları (Advantages)

Yüksek pompalama hızı ve sıkıştırma oranı
Gazlara karşı kritik olmayan yapı; memory effect oluşturmayan tasarım
Cold trap / oil baffle olmadan temiz yüksek ve ultra yüksek vakum
Yüksek dayanımlı kanatlar ile mükemmel kararlılık ve uzun ömür
Hafif rotor sayesinde düşük titreşim ve hızlı hızlanma
Kısa başlatma süresi, hızlı çalışma moduna geçiş
Düşük mekanik aşınma ve düşük bakım gereksinimi

Kullanım Alanları (Applications)

Laboratuvar sistemleri ve analiz cihazları
Lazer teknolojileri ve optik sistemler
Vakum kaplama ve püskürtme (sputtering) prosesleri
Yarı iletken üretim ekipmanları
Vakumla gaz giderme (degassing) sistemleri

Aydınlatma teknolojileri
Fotovoltaik (güneş enerjisi) endüstrisi
Havacılık ve uzay teknolojileri
Vakumla kurutma sistemleri
Genel araştırma ve Ar-Ge uygulamaları

EMP Serisi Moleküler Vakum Pompaları – Teknik Özellikler (600–4000 L/s)

Parametre / Model	EMP-600	EMP-1200	EMP-1600	EMP-3600	EMP-4000
Giriş Flanşı (mm)	150CF	160ISO-K / 200CF / 200ISO-K	250CF / 250ISO-K	400ISO-K	400ISO-K
Çıkış Flanşı (mm)	KF40	KF40	KF50	100ISO-K	100ISO-K
Debi (L/s)	600	1200	1600	3600	4000
Sıkıştırma Oranı (N₂)	>10⁹	>10⁹	>10⁹	>10⁸	>10⁸
Sıkıştırma Oranı (H₂)	>8×10³	>1×10⁴	>1×10⁴	>5×10²	>5×10²
Nihai Vakum (Pa / mbar)	<8×10⁻⁸ Pa / 8×10⁻¹⁰ mbar	<5×10⁻⁷ Pa / 5×10⁻⁹ mbar	<8×10⁻⁸ Pa / 8×10⁻¹⁰ mbar	<2×10⁻⁶ Pa / 2×10⁻⁸ mbar	<2×10⁻⁶ Pa / 2×10⁻⁸ mbar
Dönüş Hızı (rpm)	24 000	27 000	27 000	13 500	15 000
Titreşim Değeri (µm)	≤0.1	≤0.1	≤0.15	≤0.15	≤0.15
Başlatma Süresi (dk)	<4.5	<5	<6	<14	<18
Ön Vakum Pompası Debisi (L/s)	4–8	8–15	15	30–70	30–70
Soğutma Yöntemi	Hava / Su	Hava / Su	Hava / Su	Su	Su
Ortam Sıcaklığı (°C)	≤35	≤35	≤35	≤35	≤35
Soğutma Suyu Sıcaklığı (°C)	≤25	≤25	≤25	≤25	≤25
Su Tüketimi (L/dk)	1–2	1–2	1–2	2	2
Montaj Pozisyonu	Dikey ±5°	Dikey ±5°	Dikey ±5°	Dikey ±5°	Dikey ±5°
Ağırlık (kg)	25	29	31	100	100
Diğer Özellikler	Elektronik kontrol ünitesi ve 5 m kablo ile birlikte	Elektronik kontrol ünitesi ve 5 m kablo ile birlikte	Elektronik kontrol ünitesi ve 5 m kablo ile birlikte	Elektronik kontrol ünitesi ve 5 m kablo ile birlikte	Elektronik kontrol ünitesi ve 5 m kablo ile birlikte

Not: CF (ConFlat) flanşlar metal contalı UHV uygulamaları için; ISO-K kelepçeli O-ring ile hızlı montaj içindir.