BSEM-801 Alan Emisyonlu Taramalı Elektron Mikroskobu (FEG-SEM)

Giriş

BSEM-801, alan emisyonlu elektron tabancalı (FEG) bir Taramalı Elektron Mikroskobudur (SEM). Üstün görüntü kalitesi sunar. WDS, EDS, EBSD gibi aksesuarlar için altıdan fazla hazır genişletme arayüzüne sahiptir. Kullanıcıların numuneleri karakterize etmelerine ve mikroskobik görüntüleme ile analiz dünyasını keşfetmelerine olanak tanır.

1. Teknik Özellikler

Çözünürlük

  • 1.5 nm @ 15 kV (SE)
  • 3 nm @ 30 kV (BSE)

Büyütme

8 × – 800.000 ×

Elektron Tabancası

Schottky alan emisyonlu elektron tabancası

İvme Gerilimi

0.2 – 30 kV

Lens Sistemi

Çok kademeli yüksek performanslı konik objektif mercek sistemi

Objektif Diyaframı

Vakum sistemi açılmadan dışarıdan ayarlanabilen ve değiştirilebilen 3 adet objektif diyaframı

Vakum Sistemi

  • İyon pompası × 1
  • Turbo moleküler pompa × 1
  • Mekanik pompa × 1

Vakum değerleri:

  • Numune haznesi: ≤ 6.0 × 10⁻⁴ Pa
  • Elektron tabancası: ≤ 2 × 10⁻⁷ Pa

Otomatik vakum kontrolü + yanlış kullanım önleyici güvenlik kilidi

Detektörler

  • Yüksek vakum ikincil elektron detektörü (SE)
  • Entegre geri saçılan elektron detektörü (BSE)
  • IRCCD kamera
  • WDS, EDS, EBSD aksesuarları için genişletme bağlantıları

2. 5 Eksen Motorlu Numune Masası

Beş eksenli ökü̈santrik motorlu hareketli numune masası:

  • X = 80 mm
  • Y = 50 mm
  • Z = 30 mm
  • T = -5° ~ +70°
  • R = 360°

Maksimum numune çapı: Ø175 mm

Maksimum numune yüksekliği: 40 mm

Yanlış kullanım durumunda dokunma alarmı ve otomatik durdurma sistemi

3. Görüntü İşleme

  • 4096 × 3072 piksel görüntüleme
  • Desteklenen görüntü formatları: TIF, BMP, GIF, JPG, PNG
  • Otomatik dijital video kaydı (AVI formatı) özelliği

4. Çalışma İstasyonu

PC iş istasyonu (talep üzerine özelleştirilebilir)

Görüntüler harici bellek veya sabit diske kaydedilebilir, yazdırılabilir.

Standart Konfigürasyon:

  • Intel Xeon İş İstasyonu
  • 16 GB RAM + 500 GB SSD + 1 TB HDD
  • NVIDIA Quadro P1000 (4 GB bağımsız ekran kartı)
  • RS-232 arabirimi
  • 24” monitör
  • Kablosuz klavye & mouse
  • Windows 10 işletim sistemi (İngilizce & Çince seçenekli)

5. Görüntüleme Fonksiyonları

  • Kare ortalama fonksiyonu
  • Çizgi ortalama fonksiyonu
  • Gelişmiş görüntü katmanlaması
  • Gerçek zamanlı büyütme
  • Ölçek çubuğu
  • İvme gerilimi ve gri seviye eğrisi gösterimi

6. Yazılım Kontrol Fonksiyonları

  • Yüksek voltaj kontrolü
  • Otomatik filament açma/kapama
  • Potansiyel kaydırma ayarı
  • Parlaklık kontrolü ve otomatik parlaklık
  • Kontrast ayarı
  • Objektif ayarı
  • Otomatik odaklama
  • Büyütme kontrolü
  • Objektif demanyetizasyonu
  • Otomatik astigmatizma giderme
  • Seçili alan tarama modu
  • Elektriksel döndürme
  • Parametre yönetimi
  • Nokta tarama modu
  • Elektron ışını konumlama ayarı
  • Tarama alanı boyutu gerçek zamanlı gösterimi
  • Çizgi tarama modu
  • Elektron ışını eğim ayarı
  • Tabanca merceği ayarı
  • Yüzey tarama
  • Tarama hızı ayarı
  • Çok kanallı giriş
  • Yüksek voltaj izleme
  • Salınım merkezleme
  • Ölçüm araçları
  • vb.

Kurulum Gereksinimleri

1. Güç Gereksinimleri

  • Gerilim: AC 220V ± %10, 50Hz ± 1Hz (standart sinüs dalga)
  • Yüksek güç tüketen cihazlarla aynı hatta kullanılmamalıdır.
  • Bağımsız topraklama: Toprak direnci < 3 Ω

Gerekli priz hatları:

  • SEM gövdesi
  • Bilgisayar: AC 220V, 50Hz, 16A
  • Mekanik pompa & hava kompresörü: AC 220V, 50Hz, 16A
  • Şalter: 63A
  • Toplam güç tüketimi: 3 kW

2. Çevresel Gereksinimler

  • Sıcaklık: 16–30°C
  • Bağıl nem: < %60
  • Titreşim: Her yönde < 3 µm (P-P)
  • Manyetik alan: Her yönde < 2 × 10⁻⁷ T (2 mG, P-P)
  • Gürültü seviyesi: < 68 dB
  • Temiz azot gazı (≥ %99.9)

Önerilen: Klima, nem alma sistemi ve titreşim ile manyetik alan kaynaklarından uzak konum (tren yolu, metro, ana karayolu, trafolar, yüksek frekanslı cihazlardan uzak).

Bu koşullar, en yüksek görüntüleme performansı için kritik öneme sahiptir.

3. Boyut ve Ağırlık

  • Mikroskop gövdesi: 800 × 800 × 1480 mm
  • Çalışma masası: 1340 × 850 × 740 mm
  • Toplam ağırlık: 450 kg
  • Zemin taşıma kapasitesi: ≥ 500 kg/m³
  • Tavsiye edilen kurulum: Zemin/1. kat